Phương pháp vi phân tích bằng đầu dò điện tử là phương pháp phân tích vật liệu trong môn học Vật lý kỹ thuật màng mỏng. Bằng thiết bị này, có thể khảo sát phân bố thành phần cấu tạo của màng mỏng bằng cách quan sát chụp ảnh bề mặt của mẫu bằng SEM, sau đó phân tích thành phần cấu tạo bằng EPMA.