Mục đích nghiên cứu của đề tài: Chế tạo màng mỏngôxít bán dẫn ZnO, SnO2 đơn chất và ôxít bán dẫn đa thành phần ZnOSnO¬2 bằng phương pháp phun áp suất. Ủ nhiệt màng mỏng ôxít bán dẫn ZnO, SnO2, ZnOSnO¬2 thu được. Nghiên cứu cấu trúc tinh thể và hình thái bề mặt của các mẫu đã chế tạo. Khảo sát tính n[r]