Quang khắc là kỹ thuật đã được phát triển từ đầu thế kỷ 20, và được sử dụng
rộng rãi nhất trong công nghiệp bán dẫn để chế tạo các vi mạch điện tử trên các phiến
Si. Ngoài ra, quang khắc được sử dụng trong ngành khoa học và công nghệ vật liệu để
chế tạo các chi tiết vật liệu nhỏ, chế tạo các linh ki[r]