2.1.2.2. Bốc bay chùm tia điện tử
Cơ sở lý thuyết và mô tả thực nghiệm
Đặc điểm nổi bật của phương pháp chùm tia điện tử khác với các
phương pháp bốc bay nhiệt hay phún xạ catôt là
sử dụng năng lượng của chùm điện tử được hội tụ trực tiếp trên vật liệụ Khi chùm đi[r]