NGHIÊN CỨU THIẾT KẾ CẢM BIẾN ĐO ÁP SUẤT MEMS KIỂU ÁP TRỞ ĐỘ NHẠY CAO

99với điện áp nguồn cung cấp cảm biến khác nhauDANH MỤC CÁC BẢNGThứ tựMô tảTrang1Bảng 1.1. Các hệ số áp trở song song và vuông góc theo các29hướng khác nhau2Bảng 1.2. Hệ số áp điện trở cụ thể cho vật liệu silic30TÀI LIỆU THAM KHẢOTiếng Việt[1] Đinh Văn Dũng (2003), Ngh[r]

hệ thống cơ điện tử. Bao gồm các dạng vi cấu trúc cơ, các bộ cảm nhận tín hiệu (sensor), các bộ chấp hành (actuator). Sản phẩm của công nghệ MEMS được ứng dụng rộng rãi trong công nghiệp ô tô, y sinh học, điều khiển tự động, đo lường, thông tin viễn thông …v…v… Trong các ngành công nghiệp, <[r]

Hình 3.15. Tín hiệu ra theo dải gia tốc ở tần số 50Hz -- Error! Bookmark not defined.Hình 3.16. Tín hiệu ra theo dải gia tốc ở tần số 80Hz -- Error! Bookmark not defined.Hình 3.17. Nhiễu trên cầu điện trở Az của cảm biến 2x2 --------- Error! Bookmark notdefined.Hình 3.18. Tín hiệu ra tại gia[r]

có tác động của áp suất bên ngoài. Sơ đồ cấu trúc nguyên lý của sensor gia tốc được trình bảy trên hình 1. Để tăng tính nhạy định hướng, Sensor gia tốc cần có cấu trúc kiểu đa thanh dầm. Để có độ nhạy định hướng cao và nhiễu c[r]

cách điện.- Nguồn nuôi xoay chiều ~ 10V- Dòng điện chạy giữa các điện cực tỉ lệ với chiều dài của điện cực bị ngập trong chất lưu.Độ lớn tín hiệu phụ thuộc vào độ dẫn của chất lưu Cảm biến tụ điện Chất lỏng cách điện: Tụ điện dạng hai điện cực hình trụ nhúng trong chất lỏng hoặc một điện cực[r]

Quy trình hoạt động từ một hệ thống báo cháyI. Nguyên tắc báo cháy :Khi một đám cháy xảy ra, ở những vùng cháy thường có những dấu hiệusau: Lửa, khói, vật liệu chỗ cháy bị phá hủy. Nhiệt độ vùng cháy tăng lên cao. Không khí bị Oxy hóa mạnh. Có mùi cháy, mùi khét.Để đề phòng cháy chúng ta[r]

Trong khi trên phim, hình ảnh thu được là kết quả của việc các hạt bạc thu nhận ánh sáng và qua quá trình tráng phim rọi ảnh, thì trên máy ảnh số, hình ảnh là kết quả của quá trình ánh sáng đi vào các đi-ốt cảm quang trên cảm biến, đặc tính và kích cỡ của các cảm quang, bộ lọc RGB và low-pass[r]

a) Khái niệmMột cảm biến đợc gọi là tuyến tính trong một dải đo xác định nếu trong dải chếđộ đó, độ nhạy không phụ thuộc vào đại lợng đo.Trong chế độ tĩnh, độ tuyến tính chính là sự không phụ thuộc của độ nhạy củacảm biến vào giá trị của đại lợng đo, thể hiệ[r]

Hình 3: Vùng ổn định3. Dạng của phần tử cảm biến Cảm biến có triển vọng bởi có sự khác biệt các thuộc tính quan trọng vì khoảng cách và kích thước nhỏ, tính chất cứng của kim loại cao và tín hiệu đầu ra lớn. Độ nhạy nằm trong khoảng 10μV/V/bar tới 1mV/V/bar. Đặc trưng dải[r]

được các phần tử silicon dạng ống có thể được sử dụng như điện thông qua trực tiếp. Những quan niệm vỏ thay thế là dựa trên gắn phần tử silicon dạng ống vào một cái lỗ trên vách ngăn vỏ thép như được chỉ ra ở hình 5. Lỗ kim loại đặc biệt phụ thuộc vào ứng dụng, nhưng thủy tinh hoặc epoxy được cho là[r]

2.3.4 Bẫy hơi kiểu trong khoang của bẫy có lỗ 283 KIỂM TRA BẪY HƠI 303.1 Kiểm tra bằng nhãn quang 303.2 Kiểm tra bằng âm thanh 333.3 Kiểm tra bằng nhiệt độ 343.4 Kiểm tra bằng thiết bị điện tử 3531 KHÁI NIỆM CHUNG1.1 Tiêu chuẩn hơi Lượng hơi phải chính xác để đảm bảo hiệu suất nhiệt cho thiế[r]

là khoảng thời gian từ khi đại lợng đo thay đổi đột ngột đến khi biến thiên của đại lợng đầu ra chỉ còn khác giá trị cuối cùng một lợng giới hạn tính bằng %. Thời gian hồi đáp tơng ứng với % xác định khoảng thời gian cần -14- thiết phải chờ đợi sau khi có sự biến thiên của đại lợng đo